微細加工技術期刊介紹
《微細加工技術》是由中國電子科技集團公司第48研究所主辦，信息產業部主管的全國性電子類期刊，創刊于1983年，刊號（CN 43-1140/TN，ISSN 1003-8213），雙月刊。該雜志以刊登電子科學論文、評價電子科研成果、探討電子教學規律、傳播電子教學經驗、開展電子學術討論、報道電子研究動態、提供國內外電子信息為主旨，引領電子前沿和熱難點問題研究，助電子經學者成長。該刊級別為統計源期刊，歡迎廣大讀者訂閱。
《微細加工技術》期刊欄目主要有：綜述 電子束技術 離子束技術 光子束技術 薄膜技術 微機械加工技術 納米技術
微細加工技術歷史收錄情況
- Scopus數據庫（2021）
微細加工技術投稿須知
（1）題目：應反映文章主要內容，一般不用副標題，不超過20個漢字，避免使用非公知的外文縮寫。
（2）本刊將對一稿兩投者表示公開譴責，通知作者單位，并2年內拒絕該文第一作者的任何來稿。
（3）來稿一經采用，因人力所限一般不退稿，請作者自留底稿，文稿署名自便，但來稿請注明作者真實姓名、單位、職稱、通訊地址、郵政編碼及電話，以便聯系。
（4）注釋時，必須將其作者姓名、文獻名、出版社、出版時間、所屬頁碼一并注出。
（5）參考文獻：作者年份制，正文中以（作者，年份）形式置于對應處；詳細內容采用文后注形式，中文在前、英文在后，以音序排序，具體著錄格式見附件。
微細加工技術文獻分析
1、主要引證文獻期刊分析
| 序號 | 期刊 | 涉及文獻量 |
| 1 | 《微納電子技術》 | 61 |
| 2 | 《光學精密工程》 | 50 |
| 3 | 《材料導報》 | 36 |
| 4 | 《電子工業專用設備》 | 36 |
| 5 | 《納米技術與精密工程》 | 32 |
| 6 | 《半導體技術》 | 27 |
| 7 | 《功能材料與器件學報》 | 25 |
| 8 | 《傳感技術學報》 | 24 |
| 9 | 《壓電與聲光》 | 24 |
| 10 | 《中國機械工程》 | 23 |
2、主要參考文獻期刊分析
| 序號 | 期刊 | 涉及文獻量 |
| 1 | 《半導體學報：英文版》 | 35 |
| 2 | 《中國機械工程》 | 27 |
| 3 | 《光學精密工程》 | 26 |
| 4 | 《物理學報》 | 26 |
| 5 | 《光電工程》 | 25 |
| 6 | 《微納電子技術》 | 18 |
| 7 | 《機械工程學報》 | 16 |
| 8 | 《光學學報》 | 16 |
| 9 | 《電子工業專用設備》 | 16 |
| 10 | 《傳感器技術》 | 14 |
微細加工技術主要發文機構分析
| 序號 | 機構名稱 | 發文量 | 相關發文主題 |
| 1 | 中國科學院 | 192 | 光刻；電子束曝光；曝光機；電子束曝光機；掩模 |
| 2 | 上海交通大學 | 129 | 微機電系統；電系統；機電系統；MEMS；刻蝕 |
| 3 | 清華大學 | 60 | 微細；光刻；微細加工；離子束；聚焦離子束 |
| 4 | 中國科學技術大學 | 47 | 刻蝕；離子束；離子束刻蝕；光刻；衍射 |
| 5 | 電子工業部 | 46 | 離子注入；注入機；離子注入機；半導體；電路 |
| 6 | 中國科學院微電子研究所 | 38 | 光刻；掩模；X射線光刻；電子束曝光；分辨率 |
| 7 | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 | 34 | 光柵；MEMS；刻蝕；光刻；傳感 |
| 8 | 山東大學 | 29 | 電子束；電子束曝光；曝光機；電子束光刻；電子束曝光機 |
| 9 | 山東工業大學 | 28 | 電子束曝光；曝光機；電子束曝光機；電子束；電路 |
| 10 | 華中理工大學 | 26 | 刻蝕；濺射；半導體；等離子體；離子束 |
微細加工技術期刊文獻
- 基于MEMS的無閥泵研究進展 作者：白蘭; 馮志慶; 吳一輝；大連民族學院; 大連; 116600; 大連民族學院; 大連; 116600; 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所; 長春130033
- 電感耦合等離子體源的研究進展 作者：楊定宇; 蔣孟衡；成都信息工程學院光電技術系; 成都; 610225; 成都信息工程學院光電技術系; 成都; 610225
- 光刻結合熱解制備高深寬比碳微結構的新方法 作者：湯自榮; 姚園媛; 史鐵林; 廖廣蘭；華中科技大學; 機械科學與工程學院; 武漢; 430074; 武漢光電國家試驗室; 武漢; 430074; 華中科技大學; 機械科學與工程學院; 武漢; 430074; 武漢光電國家試驗室; 武漢; 430074; 華中科技大學; 機械科學與工程學院; 武漢; 430074; 武漢光電國家試驗室; 武漢; 430074; 華中科技大學; 機械科學與工程學院; 武漢; 430074; 武漢光電國家試驗室; 武漢; 430074
- 基于光刻版的無留膜紫外納米壓印技術研究 作者：張亞軍; 丁玉成; 盧秉恒；西安交通大學; 機械制造系統工程國家重點實驗室; 西安; 710049; 西安交通大學; 機械制造系統工程國家重點實驗室; 西安; 710049; 西安交通大學; 機械制造系統工程國家重點實驗室; 西安; 710049
- 接近式光刻的角譜法仿真研究 作者：李曉光; 沈連; 鄭津津; 李木軍; 陳有梅；中國科學技術大學; 機密機械與精密儀器系; 合肥; 230027; 中國科學技術大學; 機密機械與精密儀器系; 合肥; 230027; 中國科學技術大學; 機密機械與精密儀器系; 合肥; 230027; 中國科學技術大學; 機密機械與精密儀器系; 合肥; 230027; 中國科學技術大學; 機密機械與精密儀器系; 合肥; 230027
- 評價任意面型微光學元件制作誤差的方法 作者：高洪濤; 杜春雷; 張雨東；中國科學院光電技術研究所微細加工光學技術國家重點實驗室; 成都610209; 中國科學院研究生院; 北京; 100039; 中國科學院光電技術研究所微細加工光學技術國家重點實驗室; 成都610209; 中國科學院光電技術研究所; 成都; 610209
- 自動微分法求解粒子光學像差的精度分析 作者：李文萍; 顧文琪；中國科學院電工研究所; 北京; 100080; 中國科學院研究生院; 北京; 100039; 中國科學院電工研究所; 北京; 100080
- 超磁致伸縮薄膜性能測試系統研究 作者：何濱; 章良; 宋祖殷；湖南建筑高級技工學校機電系; 長沙; 410015; 空軍駐湖南軍代室; 長沙; 410016; 空軍駐湖南軍代室; 長沙; 410016
投稿常見問題
-
請問這本期刊屬于什么級別呢？可用于職稱評定嗎？
微細加工技術雜志是由中國電子科技集團公司第48研究所主辦的一本統計源期刊，國際刊號：1003-8213，國內刊號：43-1140/TN。微細加工技術雜志可用于職稱評定，您可以放心投稿。
-
你們能夠提供哪些核心期刊的咨詢服務？
大多數核心期刊我們都是可以提供咨詢服務的。目前核心期刊主要分為以下幾類：1.國內核心：按照權威度排序，社科類：南大核心>南大擴展>北大核心>科技核心 按照權威度排序。工科類：CSCD C庫>CSCD E庫（相當于CSCD擴展）>北大核心>科技核心。2.國外核心（全英文）：按照權威度排序為：SSCI=SCI>EI>ISTP=CPCI。
-
想快速發表，可以加急嗎？
為了確保您的職稱評定順利進行，我們建議提前半年到一年開始準備，這樣能夠保證有充足的時間來處理所有相關事宜。如果客戶需要加急服務，我們會與雜志社進行溝通，以確定是否可以提供加急服務。請注意，如果確認可以加急，可能會收取一定的加急費用。
-
你們提供的服務可以確保稿件被發表嗎？
期刊編輯會綜合考慮多個因素，如發表范圍、學術價值和原創性等，對稿件進行綜合評估。盡管任何機構均無法保證每篇稿件都會被發表，但我們可以用專業知識和豐富經驗，協助您理解并遵循期刊的發表要求，從而提高您的稿件被發表的機率。
-
請問期刊發表的費用如何？
期刊發表的費用因期刊不同而異。根據您的需求，我們會為您推薦性價比最高的期刊，并提供專業的期刊供您選擇。一般來說，只要符合職稱要求，大多數作者都會選擇性價比最高的期刊作為意向期刊進行重點咨詢。我們會為您提供詳細的期刊信息和費用說明，以確保您能夠做出明智的選擇。
-
如果稿件被拒，未能成功發表，費用是否可以退還？
一般來說，我們推薦的期刊和您的專業方向、文章情況都是匹配的，極少出現稿件被拒的情況。如果稿件被拒，期刊編輯會提供詳細的拒稿信和建議，以幫助您了解拒稿原因并改進您的稿件。關于退款政策，具體情況可能因期刊不同而異，請您咨詢我們的工作人員以獲取詳細信息。
